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超纯水系统技术应用为中国“芯”用水保驾护航

来源：莱特莱德作者：沈阳水处理工程师时间：2021-09-04

　　目前，全球约四分之三的芯片生产集中在东亚地区，尤以台积电和三星较多。随着“中国制造2025”，“国家集成电路产业发展推进纲要”的颁布，以及国家半导体大基金的成立，中国“芯”正在加速扩大在全球芯片产能中的占比。

　　虽然中国“芯”制造业发展的如火如荼，但在繁荣背后，也有隐忧。作为芯片产业的重要配套，芯片产业水处理成为行业热点。虽然行业内也存在不少相关企业，但实际上目前市场上做芯片水处理的企业主要集中在中低端市场，能做高端超纯水业务的企业实属凤毛麟角。同时生产高质量超纯水投资巨大，长时间的投入也意味着项目的周期长，因此在行业提升的挑战真正到来之前，愿意投入大量资本去等候收益的机构并不多。

　　膜分离技术作为国际公认具有发展前途的一项重大高新技术，具有节能、环保、高效等特点。反渗透、膜蒸馏、超滤、纳滤等因具有能耗小、成本低等优点，成为一类高效膜浓缩技术，均已在芯片生产工艺中显示了效率高、耗能少、操作方便等重大优势。

　　综合考虑系统进水水质情况及为保证膜分离系统的稳定运行，莱特莱德采用“微砂多级过滤系统+Neterfo-GA极限分离系统(亚渗透)+Neterfo-HRLE极限分离系统+Clean-EDI系统”相结合的工艺来制备超纯水。其中Neterfo-GA系列极限分离系统(亚渗透)可实现低压系统运行与高回收率并存，Neterfo-HRLE系列极限分离系统可截留TDS、COD，中高运行压力下拥有较高的脱盐率，通过优异的系统设计实现低能耗和高回收率。其出水电阻率可达18 MΩ*cm(25℃)，符合芯片生产用水需求。

　　作为一个水密集的行业，超纯水在芯片生产过程中的使用量非常大，对于芯片质量的影响也很大。莱特莱德超纯水系统结合“混床+电渗析”两大工艺特点，采用低压循环再生模式，低能耗，�？榛指葱阅芗�。且在更换树脂床或使用化学试剂进行树脂再生时并不需要关闭系统，很大限度地减少了水的质量不稳定因素，为中国“芯”用水保驾护航。

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